PμSL 3D打印技術制備的波形人工觸須傳感器用于不同流體的分析

近年來，隨著無人水下航行器和軟體機器人的發展，微型柔性流量傳感器已經成為姿態控制和流場分析的關鍵器件。目前，仿生毛發流量傳感器的靈感多來自昆蟲的觸角、海豹的觸須。其中，仿生毛發流量傳感器通常采用圓柱形結構，但是該類型的傳感器會產生渦激振動，這種渦激振動會引發很大的噪音，并惡化流量傳感器的信噪比。海豹可以通過觸須識別、定位和追蹤獵物。這種波形觸須可以抑制渦激振動的產生、降低渦激振動引發的噪音。研究學者受海豹觸須形態的啟發制備了多種人工觸須傳感器。然而，這些傳感器通常體積龐大、組裝起來較為繁瑣。因此，使用簡單的制備工藝并優化傳感器的結構以提高其靈敏度、使其微型化具有重要的意義。

近日，北京航空航天大學蔣永剛課題組基于面投影微立體光刻(PμSL) 3D打印技術結合PDMS澆鑄工藝制備了波形人工觸須傳感器，該傳感器可以用于不同流體的分析。人工觸須傳感器由仿生觸須和帶有壓阻傳感器的PDMS基座組成；PDMS基座上集成有4個微通道，并采用定向液體擴散(DSL)方法將碳納米管/銀納米顆粒(CNT/AgNPs)墨水注入微通道中，以形成壓阻傳感器。研究人員基于PμSL (nanoArch S140，摩方精密) 3D打印技術制備了仿生觸須和兩個用于制備PDMS基座的模具。仿生觸須長35mm，表面呈現波浪形，截面呈現橢圓形，幾何結構呈現非對稱性；打印模具的鏈狀凸臺結構寬度為200μm，高度為80μm，其中，凸臺上對稱菱形組成的結構高度為30μm。 

圖1. 人工觸須傳感器的結構示意圖

圖2. 人工觸須傳感器的制備。其中，a圖是基于PμSL技術制備的仿生觸須和兩個模具

圖3. 穩態流場中人工觸須傳感器在不同流速下的響應

圖4. 渦流檢測的實驗裝置及結果

波形人工觸須傳感器對復雜的流體現象表現出極。好的靈敏性，包括渦激振動、振蕩流動和上游渦流尾跡。穩態流實驗表明，在0°攻角下，人工觸須的波形形態可以顯著降低觸須的阻力，抑制渦激振動的產生；振蕩流實驗表明，觸須傳感器可以檢測振蕩流流速，閾值檢測限可低至8mm/s；另外，渦流檢測實驗表明，該波形人工觸須傳感器可以辨別上游圓柱誘導的各種渦流尾跡。該研究成果在智能流體分析方面具有巨大的應用潛力，以“Artificial Whisker Sensor with Undulated Morphology and Self-Spread Piezoresistors for Diverse Flow Analyses"為題發表在Soft Robotics上。